微流控芯片论文

晶圆清洗和最新发展

一、硅片清洗及最新发展（论文文献综述）王亚洲[1]（2021）在《纳米压电梁谐振式加速度计的设计与仿真》文中研究说明迄今为止,基于MEMS技术的微机械谐振式加速度计已得到战略级...